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在半導體制造工藝中,高純氫氣是退火、外延、化學氣相沉積(CVD)等關鍵環節重要的保護氣與反應氣。半導體專用氫氣發生器憑借現場制氫、純度高(≥99.9999%)、無鋼瓶風險等優勢,成為晶圓廠潔凈室中的設備。然而,其核心部件對水質、溫度與運行狀態敏感,只有通過科學、系統的定期維護半導...
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高壓氫氣發生器是一種用于產生高純度、高壓氫氣的設備,廣泛應用于實驗室、醫療、電子制造等行業。其操作步驟涉及多個環節,包括設備檢查、啟動、運行監控和停機等。一、設備檢查與準備1.外觀檢查:首先檢查高壓氫氣發生器的外觀是否有損壞或異常現象,確保設備處于良好狀態。2.電源連接:確保設備的電源線已正確連接至穩定的電源插座,并符合設備的電壓要求。3.氣源連接:根據設備說明書,將氫氣發生器的進氣口與外部氫氣源(如氫氣瓶)連接好,確保連接處無泄漏。4.系統設置:根據實驗或生產需求,調整設備...
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高純氫氣發生器使用安全方便,具有自動控制功能,操作簡單。內部管路設有防止返液裝置,可以有效防止返液現象的發生。它可以連續或間斷使用,產氣穩定,純度不易衰減,安全可靠。該發生器采用膜滲透技術和液位差自流式電解池,能夠一步提純到位,純度高達99.999%以上。通過先進的技術科學地解決了返液問題,是實驗室使用的理想氫氣發生器。具體來說,高純氫氣發生器具有以下特點:1.操作簡單,安全可靠,只需一次性加堿,日常使用只需補充蒸餾水并啟動電源即可產氣。2.設有防堿液回沖裝置,避免返液現象的...
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在材料科學領域,金剛石以其性能成為研究與應用的熱點。微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)技術作為制備高質量金剛石的關鍵手段,其中氫氣發生器扮演著重要的角色。MPCVD技術原理與氫氣的關鍵作用MPCVD技術是在高溫、高真空環境下,通過微波激發反應氣體,使其形成等離子體狀態。反應氣體中的氫氣和碳源氣體(如甲烷)在等離子體中發生復雜的化學反應,碳原子逐漸沉積在襯底上,進而生長出金剛石薄膜或單晶。在這一過程中,氫氣具有多重關鍵作用。其一,氫氣在微波等離子體作用下分解產生高能氫原子,...
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氫氣發生器的工作原理是通過電解水產生氫氣和氧氣。在分離池的陰極上,使用貴金屬作為電極,通過特制的電解液體進行電解,從而產生高純度的氫氣。同時,陽極會產生氧氣,這些氧氣會被釋放到大氣中。產生的氫氣經過凈化和干燥后輸出。氫氣發生器主要應用了兩種主流技術:質子交換膜技術和可再生的變壓吸附干燥技術。質子交換膜技術通過電解水來產生氫氣和氧氣,然后利用變壓吸附干燥技術去除氫氣中的水汽,確保氫氣的純度最高。使用氫氣發生器時,首先需要用原料氫置換系統,將閥3放空。待系統內的高純氮置換干凈后,...
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高純氫氣發生器是由電解池、純水箱、氫/水分離器、收集器、干燥器、傳感器、壓力調節閥和開關電源等部件組成的設備。它通過電解純水來產生氫氣。在通電后,電解池的陰極會產生氫氣,而陽極則會產生氧氣。產生的氫氣會進入氫/水分離器,而氧氣則會排入大氣中。氫/水分離器的作用是將氫氣和水分離開來。經過除濕處理后的氫氣會經過穩壓閥和調節閥的調整,達到額定壓力(0.02~0.45Mpa可調),并由出口輸出。電解池的產氫壓力由傳感器控制在0.45Mpa左右,當壓力達到設定值時,電解池的電源供應會被...
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零級空氣是一種用于凈化空氣源的裝置。它通過對壓縮空氣中的總碳氫化合物進行催化裂解,產生低于0.1ppm碳氫化合物的零級空氣。在含有鉑鈀載體的加熱催化器中,碳氫化合物被轉化為二氧化碳和水蒸氣。為了提高氣體質量并確保色譜基線平穩,零級空氣發生器內部采用了英國Peculiar硅橡膠圈(含硫量低)。零級空氣發生器在使用零級空氣發生器時,我們需要注意以下幾點,以方便更好地使用該設備:1、在工作過程中,如果壓縮機不啟動且熱保護繼電器啟動,說明壓縮機溫度過高。待冷卻后,設備將自動恢復正常運...
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高壓氫氣發生器是一種通過特定技術手段,將水或其他含氫物質轉化為高壓氫氣的裝置。與傳統的低壓氫氣發生器相比,它能夠提供更高壓力的氫氣,通常達到幾百到數千兆帕的壓力范圍,且高壓氫氣的純度一般達到99.99%以上。高壓氫氣發生器工作原理1.電解法:利用電解池將水分解成氫氣和氧氣。在電解過程中,水分子被分解成氫離子和氧離子,通過增加電解池的設計壓力和調整電解反應參數,實現高壓氫氣的生成。例如改性質子交換膜(SPE)技術,利用固體聚合物作為電解質,貴金屬作為電極,直接電解純水,氫離子在...
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